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![]() 直流磁控溅射氮化铌薄膜性能与等离子体参数的相关性
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期刊:Thin Solid Films 作者:Richard Marquardt; Julia Cipo; Felix Schlichting; Gitanjali Kolhatkar; H. Kohlstedt; et al 出版日期:2021-12-11 |
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