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Image-Guided Trajectory Tracking Control of the Nanopositioning Stages Using Regional Dense Photometic Information 使用区域密集光学信息的纳米定位级图像引导轨迹跟踪控制
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期刊:IEEE Transactions on Industrial Electronics 作者:Hai Li; Nuo Xu; Xianmin Zhang; Benliang Zhu 出版日期:2024-01-01 |
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