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 Study on surface defects of monocrystalline silicon caused by argon ion beam with different energies 不同能量氩离子束引起单晶硅表面缺陷的研究
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期刊：Seventh Asia Pacific Conference on Optics Manufacture (APCOM 2021) 作者：shiyan zhao; Xiaojing Li; Dasen wang; Pengfei Wu 出版日期：2022-02-15 |
| 求助人 |
Oliver
在
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