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标题
Numerical simulation of wet etching for R angle of fine metal mask
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DOI
10.1088/1361-6439/ade0c8 doi
其它 期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering
作者:Jiarui Chen; Yang Guo; Jie Guan; Fengjiao Wang; Yuan Zong; et al
出版日期:2025-06-04
求助人
左悬月 在 2026-10-14 11:13:59 发布自湖北,悬赏 10 积分
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