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标题
Effect of Si contents on microstructure and mechanical characteristics of TiAlSiN thin film deposited by HiPIMS using different Ti Si target compositions
Si含量对不同Ti-Si靶成分HiPIMS沉积TiAlSiN薄膜组织和力学性能的影响
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网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2023.130212
DOI
10.1016/j.surfcoat.2023.130212 doi
其它 期刊：Surface & Coatings Technology
作者：Chayan Ranjan Das; Mufaddal Rangwala; Amitava Ghosh
出版日期：2024-01-01
求助人
lazysg 在 2024-05-21 10:12:53 发布自福建，悬赏 10 积分
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