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标题
Plasma‐Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon Dioxide Deposited at Low Temperatures
低温沉积二氧化硅的等离子体增强化学气相沉积
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网址
DOI
10.1149/1.2044242 doi
其它 期刊:Journal of The Electrochemical Society
作者:M. F. Ceiler; Paul A. Kohl; Sue Ann Bidstrup
出版日期:1995-06-01
求助人
无奈的萝 在 2025-06-19 16:16:01 发布自中国,悬赏 10 积分
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