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 Femtosecond laser processing of controlled tapered micro-holes based on dynamic control of relative attitude 化学刻蚀增强纳秒脉冲激光微加工的实验与数值研究
相关领域
材料科学
激光烧蚀
激光器
表面微加工
纳秒
蚀刻（微加工）
各向同性腐蚀
纳米技术
烧蚀
光电子学
光学
制作
航空航天工程
医学
物理
替代医学
工程类
病理
图层（电子）
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10.1016/j.jmapro.2023.11.017
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