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  Role of Oxygen in Amorphous Carbon Hard Mask Plasma Etching 氧在非晶碳硬掩模等离子体刻蚀中的作用
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期刊：ACS Omega 作者：H. J. Yeom; Min Young Yoon; Daehan Choi; Youngseok Lee; Jung‐Hyung Kim; et al 出版日期：2023-08-31 |
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