Investigating the mechanism of enhancing interfacial adhesion of SiOx films on GaAs substrates through process optimization

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标题	Investigating the mechanism of enhancing interfacial adhesion of SiOx films on GaAs substrates through process optimization
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2024.140530
DOI	10.1016/j.tsf.2024.140530 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Zhiwei He; Jiuru Gao; Chanjuan Liu; Zichao Li; Kaidong Xu; et al 出版日期：2024-09-13
求助人	邢慧兰在 2026-08-21 17:57:13 发布自安徽，悬赏 10 积分
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