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Optimization of Ga2O3 thin film growth via magnetron sputtering: Influence of growth pressure on crystallinity, surface morphology, and optical properties
网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114057
DOI
10.1016/j.vacuum.2025.114057 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Ziwei Guo; Yamei Mao
出版日期：2025-01-22
求助人
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