| 标题 |
3-Way Microvalve for Pneumatic Applications Fabricated by Silicon Micromachining |
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10.1115/imece1998-1237
doi
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| 其它 |
期刊:IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS 作者:S. Messner; Martina Müller; J. Schaible; H. Sandmaier; R. Zengerle 出版日期:1998-11-15 |
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(2025-6-4)