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标题
A MEMS Fiber-Optic Fabry-Perot Vibration Sensor for High-Temperature Applications
相关领域
材料科学 晶片切割 微电子机械系统 光纤 法布里-珀罗干涉仪 光纤传感器 光电子学 灵敏度(控制系统) 薄脆饼 振动 温度测量 蚀刻(微加工) 光学 纤维 声学 电子工程 复合材料 波长 工程类 图层(电子) 物理 量子力学
网址
DOI
10.1109/access.2022.3168350 doi
其它 期刊:IEEE Access
作者:Jiang Qian; Pinggang Jia; Hua Liu; Qianyu Ren; Jia Liu; et al
出版日期:2022-04-19
求助人
刘陌陌 在 2026-09-21 10:21:26 发布自美国,悬赏 10 积分
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