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Nanoscale Three-Dimensional Patterning of Molecular Resists by Scanning Probes
利用扫描探针进行分子抗蚀剂的纳米三维图案化
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期刊:Science 作者:David Pires; James L. Hedrick; Anuja De Silva; Jane Frommer; Bernd Gotsmann; et al 出版日期:2010-04-22 |
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