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标题
Detection and identification of particles on silicon wafers based on light scattering and absorption spectroscopy and Machine learning
基于光散射吸收光谱和机器学习的硅片颗粒检测与识别
相关领域
薄脆饼 材料科学 粒子（生态学） 半导体器件制造 散射 吸收（声学） 计算机科学 人工智能 光电子学 光学 物理 复合材料 海洋学 地质学
网址
https://doi.org/10.1016/j.mfglet.2023.08.048
DOI
10.1016/j.mfglet.2023.08.048 doi
其它 期刊：Manufacturing Letters
作者：Fengfeng Zhou; Xingyu Fu; Siying Chen; Martin Byung‐Guk Jun
出版日期：2023-08-01
求助人
zxc 在 2024-03-13 18:01:23 发布自福建，悬赏 10 积分
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