Decoupled Plasma Nitridation (DPN) and Postnitridation Annealing (PNA) Treatment for Metal Boundary Effect Reduction

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标题	Decoupled Plasma Nitridation (DPN) and Postnitridation Annealing (PNA) Treatment for Metal Boundary Effect Reduction 去耦等离子体氮化（DPN）和氮化后退火（PNA）处理降低金属边界效应相关领域退火（玻璃）材料科学等离子体还原（数学）金属血糖冶金数学内科学医学物理几何学量子力学胰岛素
网址	https://doi.org/10.1109/ted.2024.3360027
DOI	10.1109/ted.2024.3360027 doi
其它	期刊：I.E.E.E. transactions on electron devices/IEEE transactions on electron devices 作者：Ming Tian; Kun Chen; Chen Wang; Tianpeng Guan; Qi Sun; et al 出版日期：2024-03-01
求助人	PN_Allen 在 2024-05-21 11:07:20 发布自上海，悬赏 10 积分
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