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Residual stress classification of pulsed DC reactive sputtered aluminum nitride film via large-scale data analysis of optical emission spectroscopy
脉冲直流反应溅射氮化铝薄膜的残余应力分类
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期刊:The international journal of advanced manufacturing technology/International journal, advanced manufacturing technology 作者:Hsiao-Han Lo; Wei‐Lun Chen; Peter J. Wang; Walter Lai; Yiin Kuen Fuh; et al 出版日期:2022-01-25 |
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