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 MEMS-based Pt film temperature sensor chip on silicon substrate 硅基微机电系统铂膜温度传感器芯片
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期刊：Measurement Science and Technology 作者：Mimi Huang; Libo Zhao; Xiangguang Han; Jia Chen; Yi Qin Gao; et al 出版日期：2022-09-09 |
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