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Structural optimization and flow field analysis of turbomolecular pump based on a new performance prediction algorithm
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DOI
10.1038/s41598-024-63690-9 doi
其它 期刊:Scientific Reports
作者:Kun Sun; Haishun Deng; Cheng Wang; Shiwei Zhang
出版日期:2024-06-03
求助人
soon 在 2025-09-22 15:17:41 发布自浙江,悬赏 10 积分
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