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标题
Integrated Fabrication Process of Si Microcantilever Using TMAH Solution With Planar Molybdenum Mask
平面钼掩模TMAH溶液硅微悬臂梁集成制作工艺
相关领域
材料科学 硅 蚀刻（微加工） 光电子学 咬边 薄脆饼 化学机械平面化 绝缘体上的硅 制作 反应离子刻蚀 各向同性腐蚀 干法蚀刻 四甲基氢氧化铵 图层（电子） 纳米技术 复合材料 医学 替代医学 病理
网址
https://doi.org/10.1109/jmems.2023.3263530
DOI
10.1109/jmems.2023.3263530 doi
其它 期刊：Journal of Microelectromechanical Systems
作者：Lia Aprilia; T. Meguro; Ratno Nuryadi; Tetsuo Tabei; Hidenori Mimura; et al
出版日期：2023-04-06
求助人
bvbbbbc 在 2025-08-30 19:00:03 发布，悬赏 10 积分
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