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  Superlattice effects and limitations of non-destructive measurement of advanced Si/Si1−xGex superlattice structures using Mueller matrix scatterometry and high-resolution X-ray diffraction 使用Mueller矩阵散射和高分辨率X射线衍射无损测量高级Si/Si1-xGex超晶格结构的超晶格效应和局限性
相关领域
超晶格
衍射
材料科学
X射线
X射线晶体学
基质（化学分析）
分辨率（逻辑）
光学
光电子学
物理
复合材料
计算机科学
人工智能
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| 其它 |
期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology 作者：Ezra Mel B. Pasikatan; G. A. Antonelli; Nicholas Keller; Subhadeep Kal; Matthew Rednor; et al 出版日期：2024-11-06 |
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