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 Accuracy Improvement of Focusing and Leveling Sensors Based on Pupil Phase Modulation 基于光瞳相位调制的聚焦和调平传感器精度改进
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期刊：Applied Optics 作者：Ke Lan; Xiao Liu; Tingyuan Jia; Long Pan; Jinluo Cheng; et al 出版日期：2024-12-10 |
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