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标题
MIT characteristic of VO2 thin film deposited by ALD using vanadium oxytriisopropoxide precursor and H2O reactant
氧化三异丙醇钒前驱体和H2O反应物ALD沉积VO2薄膜的MIT特性
相关领域
材料科学 二氧化二钒 化学工程 薄膜 冶金 无机化学 纳米技术 化学 工程类
网址
DOI
10.36410/jcpr.2019.20.5.484 doi
其它 期刊:Journal of Ceramic Processing Research
作者:Changhee Shin; Hyeongsu Choi; Hyunwoo Park; Chanwon Jung; Seokhwi Song; et al
出版日期:2019-10-01
求助人
Mu5k 在 2025-10-29 09:27:49 发布自上海,悬赏 10 积分
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