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  Design of an edge tapered 915 MHz/TM021 microwave plasma reactor by numerical analysis 边缘锥形915 MHz/TM021微波等离子体反应器的数值分析设计
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期刊：AIP Advances 作者：Xinsheng Yan; Lianmin Zhao; Weiye Xu; Longwei Chen; Hua Jia; et al 出版日期：2021-03-01 |
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