Comparison and analysis of capacitive humidity sensors with water vapor inlet holes of different depths

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标题	Comparison and analysis of capacitive humidity sensors with water vapor inlet holes of different depths
网址	http://nanolithography.spiedigitallibrary.org/article.aspx?a...
DOI	10.1117/1.jmm.14.2.025001 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 作者：Kyo Sang Choi; Deok Su Kim; Hee June Yang; Min Soo Ryu; Ji Sung Chae; Sung Pil Chang 出版日期：2015-04-10
求助人	神奇在 2026-05-14 13:38:04 发布自四川，悬赏 20 积分
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