Effect of Deposition and Annealing Temperatures on the Phase Composition of TiO2 Films Obtained by Atomic Layer Deposition from Titanium Tetrachloride and Water

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标题	Effect of Deposition and Annealing Temperatures on the Phase Composition of TiO2 Films Obtained by Atomic Layer Deposition from Titanium Tetrachloride and Water
网址	https://doi.org/10.1134/s0022476625020088
DOI	10.1134/s0022476625020088 doi
其它	期刊：Journal of Structural Chemistry 作者：E. A. Khizhnyak; V. R. Shayapov; I. V. Korolkov; S. P. Dudkina; P. V. Geydt; M. S. Lebedev 出版日期：2025
求助人	比奇堡力工在 2026-04-27 15:14:18 发布自湖北，悬赏 10 积分
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