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Through-wafer electroplated copper interconnect with ultrafine grains and high density of nanotwins
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网址
DOI
10.1063/1.2432284 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:Luhua Xu; Pradeep Dixit; Jianmin Miao; John H. L. Pang; Xi Zhang; et al
出版日期:2007-01-17
求助人
Ming 在 2023-01-19 14:23:24 发布,悬赏 10 积分
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