Boron Nitride Nucleation Mechanism during Chemical Vapor Deposition

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标题	Boron Nitride Nucleation Mechanism during Chemical Vapor Deposition 相关领域沉积（地质）硼原子层沉积氮化物化学
网址	http://dx.doi.org/10.1021/acs.jpcc.8b05785.s001
DOI	10.1021/acs.jpcc.8b05785.s001 doi 提醒：求助人提供的doi与AI识别不一致 10.1021/acs.jpcc.8b05785 Doi
其它	期刊：作者：出版日期：2020-04-09
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