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原子力/摩擦力显微图象的分析与测量
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【作者】 王吉会; 路新春; 钱林茂; 史兵; 温诗铸; 【摘要】 用表面粗糙度评定方法和分形几何方法,结合原子力/摩擦力显微图象的特点,编制了包括Ra,Rq,Sm,S,λa,λq及高度分布、承载率曲线、相关函数、功率谱和分形维数等参数的图象分析与测量的FORTRAN程序;用STR-180和STR-1000标样作了高度标定,对国产Nature磁带和进口Sony磁带的原子力/摩擦力显微图象进行了分析测量.结果表明:Nature磁带的粗糙度和粒度均比Sony磁带的大;微摩擦力与表面轮廓及表面轮廓斜率之间均有良好的对应关系. |
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