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Effects of a radial variation of surface coefficients on plasma uniformity in capacitive RF discharges
电容射频放电中表面系数径向变化对等离子体均匀性的影响
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期刊:Plasma Sources Science and Technology 作者:Li Wang; P. Hartmann; Zoltán Donkó; Yuan-Hong Song; Julian Schulze 出版日期:2023-04-01 |
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