Polyacrylic Acid as a Lubricant and a Complement to 1,2,4-Triazole for Copper Chemical Mechanical Polishing

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标题	Polyacrylic Acid as a Lubricant and a Complement to 1,2,4-Triazole for Copper Chemical Mechanical Polishing 聚丙烯酸作为铜化学机械抛光的润滑剂和1，2，4-三唑的补充剂相关领域化学机械平面化铜材料科学润滑油聚丙烯酸抛光表面粗糙度化学工程泥浆聚合物腐蚀冶金复合材料纳米技术工程类
网址	https://doi.org/10.1007/s11249-023-01732-5
DOI	10.1007/s11249-023-01732-5 doi
其它	期刊：Tribology Letters 作者：Liang Jiang; Qiuyu Li; Yu‐Shan Chen; Yuan Wu; Mao Sun; et al 出版日期：2023-04-25
求助人	shan 在 2024-02-03 19:10:05 发布自河南，悬赏 10 积分
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