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Polyacrylic Acid as a Lubricant and a Complement to 1,2,4-Triazole for Copper Chemical Mechanical Polishing

化学机械平面化 铜 材料科学 润滑油 聚丙烯酸 抛光 表面粗糙度 化学工程 泥浆 聚合物 腐蚀 冶金 复合材料 纳米技术 工程类
作者
Liang Jiang,Qiuyu Li,Yu‐Shan Chen,Yuan Wu,Mao Sun,Linmao Qian
出处
期刊：Tribology Letters [Springer Nature]
日期：2023-04-25 卷期号：71 (2) 被引量：1
标识
DOI：10.1007/s11249-023-01732-5
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