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Doping Effect on Characteristics of Al2O3 Ceramics for Glass Substrate Electrostatic Chucking
掺杂对玻璃基板静电卡盘用Al2O3陶瓷性能的影响
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兴奋剂 材料科学 陶瓷 基质（水族馆） 光电子学 复合材料 海洋学 地质学
网址
https://doi.org/10.1142/9789814696029_0008
DOI
10.1142/9789814696029_0008 doi
其它 期刊：
作者：Dong Hyun Kang; Y. H. Kim; Heesang Ahn; Jin-Hyun Hwang
出版日期：2015-09-01
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qq 在 2025-06-20 16:19:34 发布自宁夏，悬赏 30 积分
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