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标题
A Novel OPC Method Based on Pattern Density
一种新的基于图案密度的OPC方法
相关领域
计算机科学
网址
https://doi.org/10.1109/cstic64481.2025.11017965
DOI
10.1109/cstic64481.2025.11017965 doi
其它 期刊：
作者：Yaohui Wang; Xue Zhang
出版日期：2025-03-24
求助人
勤劳怜寒 在 2025-06-08 20:20:30 发布自四川，悬赏 10 积分
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