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标题
Influence of the nucleation layer morphology on the structural property of AlN films grown on c-plane sapphire by MOCVD
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092583881...
DOI
10.1016/j.jallcom.2016.12.126 doi
其它 期刊：Journal of Alloys and Compounds
作者：Weike Luo; Liang Li; Zhonghui Li; Qiankun Yang; Dongguo Zhang; et al
出版日期：2016-12-14
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