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标题
A Physics-Constrained, Design-Driven Methodology for Defect Dataset Generation in Optical Lithography
网址
https://arxiv.org/abs/2512.09001
DOI
10.48550/arxiv.2512.09001 doi
其它 期刊：arXiv.org
作者：Yue-Hua Hu; Jiyeong Kong; D. Shin; Jaekyun Kim; Kyung-Tae Kang
出版日期：2025-12-09
求助人
风中的又菱 在 2026-09-28 10:35:21 发布自吉林，悬赏 10 积分
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