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标题
Plasma nitridation for atomic layer etching of Ni
等离子体氮化用于镍原子层刻蚀
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1116/6.0003263
DOI
10.1116/6.0003263 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Taylor G. Smith; Ali M. Ali; Jean‐François de Marneffe; Jane P. Chang
出版日期：2024-01-31
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小张真的困啦 在 2024-05-17 16:47:53 发布自吉林，悬赏 10 积分
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