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Growth of thick GaN films on 2-inch ScAlMgO4 substrates by halide vapor phase epitaxy
卤化物气相外延在2英寸ScAlMgO4衬底上生长GaN厚膜
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Haitao Zhang; Shoma Takeda; Hideto Miyake 出版日期:2024-01-01 |
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