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  Limits to Thermal-Piezoresistive Cooling in Silicon Micromechanical Resonators 相关领域
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：James M. L. Miller; Haoshen Zhu; Subramanian Sundaram; Gabrielle D. Vukasin; Yunhan Chen; et al 出版日期：2020-09-16 |
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