Experimental and numerical investigations of electron density in low-pressure dual-frequency capacitively coupled oxygen discharges

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标题	Experimental and numerical investigations of electron density in low-pressure dual-frequency capacitively coupled oxygen discharges
网址	https://doi.org/10.1116/1.4822059
DOI	10.1116/1.4822059 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Jia Liu; De-Qi Wen; Yong-Xin Liu; Fei Gao; Wen-Qi Lu; You-Nian Wang 出版日期：2013
求助人	UNIQ85 在 2026-04-02 21:15:37 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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