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 Highly selective GaAs/AlGaAs dry etching using HBr/SF6/He HBr/SF6/He高选择性GaAs/AlGaAs干法刻蚀
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Michael Barrow; S. P. Wright; Sarah Puzycki; Piyush Shah; Robert Bedford; et al 出版日期：2021-08-04 |
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