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Aluminum Nitride-Based Adjustable Effective Electromechanical Coupling Coefficient Film Bulk Acoustic Resonator 氮化铝基可调有效机电耦合系数薄膜体声谐振器
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期刊:Micromachines 作者:Yuanhang Qu; T. Luo; Zhiwei Wen; Min Wei; Xiyu Gu; et al 出版日期:2023-01-07 |
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