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Investigation of the hydrophilic nature and surface energy changes of HfO2 thin films prepared by atomic layer deposition 原子层沉积HfO2薄膜的亲水性及表面能变化研究
相关领域
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期刊:Vacuum 作者:Sangyoon Lee; Hwi Yoon; Sang-Hun Lee; Seung‐min Chung; Hyungjun Kim 出版日期:2023-11-01 |
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