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标题
Yttrium-doped aluminum nitride ceramics for dielectric layers in Johnsen-Rahbek (J-R) type electrostatic chucks
Johnsen-Rahbek（J-R）型静电卡盘介质层用钇掺杂氮化铝陶瓷
网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2025.09.211
DOI
10.1016/j.ceramint.2025.09.211 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Nianying Zhou; Liang Hu; Chen‐Hui Li; Yuefang Peng; Yunxuan Wang; et al
出版日期：2025-09-22
求助人
王金农 在 2025-12-08 23:44:25 发布自广东，悬赏 10 积分
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