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标题
Optical emission intensity overshoot and electron heating mechanisms during the re-ignition of pulsed capacitively coupled Ar plasmas
相关领域
材料科学 超调（微波通信） 等离子体 原子物理学 电子 焦耳加热 电压 点火系统 温度电子 等离子体诊断 物理 电气工程 量子力学 热力学 工程类 复合材料
网址
https://doi.org/10.1116/6.0000679
DOI
10.1116/6.0000679 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Keith Hernandez; Alex Press; Matthew Goeckner; Lawrence Overzet
出版日期：2021-03-01
求助人
笨笨的仙人掌 在 2026-01-11 10:24:30 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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