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标题
Out‐Diffusion and Uphill‐Diffusion of Mg in Czochralski‐Grown (100) β‐Ga2O3 Under High‐Temperature Annealing and Its Influence on Lateral MOSFET Devices
高温退火条件下Mg在直拉生长(100)β-Ga2O3中的向外扩散和向上扩散及其对横向MOSFET器件的影响
相关领域
材料科学 退火(玻璃) MOSFET 扩散 光电子学 工程物理 电气工程 冶金 热力学 晶体管 电压 物理 工程类
网址
DOI
10.1002/aelm.202400342 doi
其它 期刊:Advanced Electronic Materials
作者:Ta‐Shun Chou; Thi Thuy Vi Tran; Hartwin Peelaers; Kornelius Tetzner; Oliver Hilt; et al
出版日期:2024-10-22
求助人
领导范儿 在 2025-12-10 20:12:21 发布自海南,悬赏 10 积分
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