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标题
Integrated TbDyFe Film on a Single‐Crystal Diamond Microelectromechanical Resonator for Magnetic Sensing
用于磁传感的单晶金刚石微机电谐振器上集成TbDyFe薄膜
相关领域
微电子机械系统 谐振器 材料科学 光电子学 钻石 退火(玻璃) 溅射沉积 磁致伸缩 磁场 薄膜 灵敏度(控制系统) 溅射 纳米技术 电子工程 复合材料 工程类 物理 量子力学
网址
DOI
10.1002/pssr.202100352 doi
其它 期刊:physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters
作者:Xiulin Shen; Huanying Sun; Liwen Sang; Masataka Imura; Yasuo Koide; et al
出版日期:2021-07-14
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