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Ti-O Direct-Current-Sintered Bodies and Their Use for Sputter Deposition of TiO Thin Films: Fabrication and Characterization
作者
Masanari Tomozawa,
Kimihiro Ozaki,
Masashi Mikami,
Keizo Kobayashi
出处
期刊：
Journal of Electronic Materials
[Springer Science+Business Media]
日期：2010-03-27
卷期号：39 (8): 1364-1370
被引量：2
标识
DOI：10.1007/s11664-010-1166-8
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