Modulation of electrical properties of sputtered Ta2O5 films by variation of RF power and substrate temperature

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标题	Modulation of electrical properties of sputtered Ta2O5 films by variation of RF power and substrate temperature 射频功率和衬底温度对溅射Ta2O5薄膜电学性能的调节相关领域材料科学薄膜电介质溅射溅射沉积光电子学基质（水族馆）分析化学（期刊）纳米技术海洋学化学色谱法地质学
网址	http://dx.doi.org/10.1088/1402-4896/ad196b
DOI	10.1088/1402-4896/ad196b doi
求助人	zzzooouu 在 2025-05-19 20:40:31 发布自江苏，悬赏 10 积分
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