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标题
Synthesis of thin films and coatings by high power impulse magnetron sputtering
高功率脉冲磁控溅射合成薄膜和涂层
相关领域
高功率脉冲磁控溅射 微电子 材料科学 薄膜 溅射沉积 残余应力 溅射 折射率 工程物理 光电子学 纳米技术 复合材料 工程类
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/B978012812...
DOI
10.1016/b978-0-12-812454-3.00013-9 doi
其它 期刊：High Power Impulse Magnetron Sputtering
作者：Kostas Sarakinos; Ludvik Martinu
出版日期：2019-08-30
求助人
文静的可仁 在 2025-05-08 20:22:17 发布自四川，悬赏 10 积分
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