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标题
A General Circuit Model for rf Plasma Processing Equipment
射频等离子体处理设备的通用电路模型
相关领域
计算机科学
网址
http://ui.adsabs.harvard.edu/abs/1997APS..GEC.RR102R/abstrac...
AI链接 harvard.edu
DOI
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其它 期刊：APS
作者：Shahid Rauf; Mark J. Kushner
出版日期：1997-10-01
求助人
圆圆 在 2025-05-28 18:13:34 发布自辽宁，悬赏 20 积分
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